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发行日期:2019年
机身颜色:银色
焦耳真空蒸镀装置,型号JVP-3026U测温范围250-2000℃/700-2600℃(双测温)不锈钢真空操作箱,腔体内上加热片加热被蒸镀样品,下加热片放置蒸镀材料,上下加热片均可自动控温,操作简单
焦耳真空蒸镀装置技术参数 | |
型号 | JVP-3026U |
测温范围 | 250-2000℃/700-2600℃(双测温) |
测温精度 | ±5‰ |
测温重复性 | ±3‰ |
不锈钢真空操作箱 | 25*25*40cm |
真空度 | ~10-5Pa |
电源电压 | 380V-50Hz |
设备功率 | 30kW(可定制) |
多功能控制器 | 电源指示、运行指示、电源控制、电极温度检测 |
触屏电脑 | 实时温度、电流、电压显示,程序控制,数据读取存储 |
控制方式 | 工作时间/最高温度/分段控制/斜率升降温(程序控制) |
数据采集周期 | 50ms/温度实时采集、控温精度±1℃以内 |
真空压力表 | -0.1-0MPa |
真空泵 | 双极旋片式、极限压力:6×10-2Pa(可选配分子泵) |
冷却方式 | 腔体、电极水冷降温 |
气体通路 | 预留有进出气管路、阀门、接头 |
高温烧结台 | 材质为紫铜和石墨 |
烧结时间 | 2200℃可保温20分钟 |
体积、重量 | 长*宽*高=70*70*190cm、重340Kg |
该装置配备有不锈钢真空箱,可以长时间高温加热。装置优点是操作简单,只需输入升降温时间、目标温度、保温时间即可,装置可自动执行设定程序,可设置十二段温度控制区间及电流分段控制区间。且控温精准,保温运行时实际温度可控制在目标温度±1℃范围内。
腔体内含有双控温加热系统,可在样品被蒸镀的同时给样品加热,温度可以自动控制。内部结构设计便于样品取拿,操作简单方便。